В учебнике изложены основные направления развития микроэлектроники: рассмотрены физические основы, конструкция, технология, структурные элементы и аспекты проектирования интегральных микросхем (ИМС) и больших интегральных схем (БИС).
Рассмотрены отдельные технологические процессы, схемотехнические решения, машинные методы проектирования и изготовления изделий микроэлектроники. Учебник предназначен для студентов технических вузов и университетов, изучающих микроэлектронику.
Информация о книге: Автор: Ефимов И. Е. Язык: русский Издательство: Лань Жанр: микроэлектроника Год: 2021 Формат: pdf Качество: OCR без ошибок Размер: 39 мб